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基础技术参数：
型 号： FUNCTION 564
n 行 程： X轴 500 mm
Y轴 600 mm
Z轴 400 mm
ˉ 结构型式：活动桥式
ˉ 传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承
ˉ 长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
ˉ 机 台：高精度（00级）花岗岩平台
ˉ 使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
ˉ 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
ˉ 空气流量：120 L/min – 140 L/min
ˉ 整机尺寸(LWH)：1.2m X 1.4 m X 2.3 m
ˉ 机台承重：500 kg ，整机重量：850 Kg
空间测量精度：（2.80+L/300）μm
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